’RSFTSTYLY,6<Microsyst Nanoeng-20210804,Nature Style GuideScienceūūč †This style is for the journal Microsystems & Nanoengineering published by Nature Publishing. Author guidelines available from: https://www.nature.com/documents/micronano-gta.pdf Natures format for References to online-only journals require that "either" the URL or the DOI number be placed in the reference. EndNote doesn't know how to make the distinction when both are present so we have opted to include the DOI number in our format. References in the press  do not have volume or page numbers, or year of publication; for journals use Journal (in the press)`. ūū!X"(#$%&"(#=$%&DMicrosystems & Nanoengineering6Nature Publishing GroupūūJhttps://www.nature.com/micronano/ūūC@ !ppqrs…t°xTyz{  , !|  & ūū!xTyzd{  , !|  & ūū!uh}~ et al.ūū€‚, . . . ƒ„vw ---ūū!"ppqrs…t°xTyz{  , !|  & ūū!xTyzd{  , !| , & !uh}~ et al.ūū€‚, . . . ƒ„vw ---ūū!#<Ą (”¢t‘’ “” •  . !–—h‘’ “” • –—t‘’ “”  . !• –—h‘’ “” • –—t‘’ “”   ūū!• –—t‘’ “”  , !• –—|‘+’ “”$ , doi:!• –—€‘’ “”   (!•  )ūū!–—t‘’ “”  .ūū!• –— X”¢Ht‘’ “” •  . !–—h‘’ “” • –—t‘’ “”  . !• –—x‘’ “” •  edn!–—t‘’ “”  , !• –—|‘’ “”$ Vol. ūū!• –—t‘’ “”  ūū!• –—t‘#’ “” •  ūū!–—t‘’ “”  (ūū!• –—h‘ ’ “” • –—t‘’ “”  , !• –—h‘’ “” • –—t‘’ “”  )ūū!• –—t‘’ “”  .ūū!• –— ģ”¢Üt‘’ “” •  . !–—t‘’ “” •  ūū!–—€‘’ “” •(  thesisūū!–—t‘ ’ “”  , !• –—„‘’ “” , (ūū!•  )ūū!–—t‘’ “”  .ūū!• –— ¤”¢”t‘’ “” •  . !–—¬‘’ “” in ūū!•D  .ūū!0"(#$%&–—x‘’ “” •  edn!–—t‘’ “”  ūū!• –—‘ ’ “”, (ed^(eds ūū!•  )ūū!–—t‘’ “”  ūū!• –—h‘’ “” • –—t‘’ “”  ūū!• –—t‘’ “”  (ūū!• –—h‘ ’ “” • –—t‘’ “”  , !• –—h‘’ “” • –—t‘’ “”  )ūū!• –—t‘’ “”  .ūū!• –— (”¢t‘’ “” •  ūū!–—”‘’ “” v. ūū!•  ūū!–˜˜—t‘’ “”  (ūū!• –—h‘ ’ “” • –—t‘’ “”  , !• –—h‘ ’ “” • –—t‘’ “”  , !• –—h‘’ “” • –—t‘’ “”  ).!• –— ”¢št‘’ “” •  . !–—„‘’ “” in ūū!•  ūū!–—|‘’ “” •$  edn ūū!–—|‘’ “”$ Vol. ūū!• –—t‘’ “”  ūū!• –—h‘’ “” • –—t‘’ “”  ūū!• –—‘ ’ “”, (ed^(eds ūū!•  )ūū!–—t‘’ “”  ūū!• –—„‘#’ “” Ch. !•  ,ūū!–—t‘’ “”   ūū!• –—t‘’ “”  ūū!• –—t‘’ “”  (ūū!• –—t‘ ’ “” •  , !–—h‘’ “” • –—t‘’ “”  )ūū!• –—t‘’ “”  .ūū!• –— ü” ¢ģt‘’ “” •  . !–—t‘’ “” •  . !–—˜‘’ “”0 Report No. ūū!• –˜˜ —t‘’ “”  , !• –—t‘’ “” •  ūū!–—t‘’ “”  (ūū!• –—h‘ ’ “” • –—t‘’ “”  , !• –—h‘ ’ “” • –—t‘’ “”  , !• –—h‘’ “” • –—t‘’ “”  )ūū!• –—t‘’ “”  .ūū!• –— č”¢Ųt‘’ “” •  . !–—t‘’ “” •  . !–—€‘ ’ “” •(  patent !–—t‘’ “” •  ūū!–—€‘’ “”  (ūū!•  )ūū!–—t‘’ “”  .ūū!• –— ”¢ųt‘’ “” •  . !–—t‘’ “” •  . !–—„‘’ “”  (ūū!• ). ūū!–—„‘’ “” at <!•  >ūū!–—  ”¢t‘’ “” •  . !–—h‘’ “” • –—t‘’ “”  . !• –—h‘’ “” • –—t‘’ “”   ūū!• –—t‘’ “”  , !• –—€‘’ “”   (!•  )ūū!–—t‘’ “”  . !• –—€‘’ “”  <ūū!•  >ūū!–—t‘’ “”  .ūū!• –— h”¢Xt‘’ “” •  . !–—x‘’ “” in ūū!• –—t‘’ “”  ūū!• –—|‘’ “”$ Vol. ūū!• –—t‘’ “”  ūū!• –—h‘’ “” • –—t‘’ “”  ūū!• –—‘ ’ “”, (ed^(eds ūū!•  )ūū!–—t‘’ “”   ūū!• –—t‘’ “”  ūū!• –—t‘’ “”  (ūū!• –—t‘ ’ “” •  , !–—t‘ ’ “” •  , !–—h‘’ “” • –—t‘’ “”  )ūū!• –—t‘’ “”  .ūū!• –— Œ”%¢|t‘’ “” •  . !–—t‘’ “” •  ūū!–—t‘’ “”  (ūū!• –—œ‘’ “”4 $Catalogue No. !• –˜˜—t‘’ “”  , !• –—h‘ ’ “” • –—t‘’ “”  , !• –—h‘ ’ “” • –—t‘’ “”  , !• –—h‘’ “” • –—t‘’ “”  )ūū!• –—t‘’ “”  .ūū!• –—$äh‘@’ “” • –—t‘’ “”  ūū!• –—%'(°±²³&e()T|t‘+’ “”   ūū!• –—|t‘"’ “”  , !• –—„|‘’ “”$ , doi:!• –—°Ø‘’ “”P >, edited and translated by ūū!• –—*@ä0  ,ūū!213ˆ €”¢ph‘@’  “” • –—Aü ō”¢ät‘’ “” •   ūū!–—h‘@’  “” • –—4hpqrs…tøxXyzd{  , !|$  and ūū!xXydzd{  , !|$  and ūū!uh}~, et al.€‚, . . . ƒ„vw B$  and ūū!C$  and ūū!5(°±²³64ŠŃŅ  -ūū!7dąį  ; !āåęē č 8h}~, et al.€‚, . . . ƒ„9:;  , !<=>?@ ¼PQZ  ; !RSxpqrs…tøxXyzd{  , !|$  and ūū!xXydzd{  , !|$  and ūū!uh}~, et al.€‚, . . . ƒ„vw ---ūū!Txpqrs…tøxXyzd{  , !|$  and ūū!xXydzd{  , !|$  and ūū!uh}~, et al.€‚, . . . ƒ„vw ---ūū!UVWY,ĄĮĀĆÄ$ Ibid.!Ģ„|‘’ “”$ Ibid.ūū!• –—Å$ Ibid.!ĘĒ ČÉ ŹSxpqrs…tøxXyzd{  , !|$  and ūū!xXydzd{  , !|$  and ūū!uh}~, et al.€‚, . . . ƒ„vw ---ūū!Txpqrs…tøxXyzd{  , !|$  and ūū!xXydzd{  , !|$  and ūū!uh}~, et al.€‚, . . . ƒ„vw ---ūū!ĖU[L|t‘+’ “”  , !• –—|t‘"’ “”  , !• –—|t‘’ “”  , !• –—°Ø‘’ “”P >, edited and translated by ūū!• –—  `ab<dc, Anonymousūū!(@ABC `šńņóōõö÷ųłś